台积电EUV机台采购破50台　美光DRAM EUV评估可望提前

发表于 4年以前 | 总阅读数：793 次

ASML在台设立EUV技术培训中心，估计每年可为ASML和客户培育360位EUV技术工程师。陈玉娟

另外，在存储器制造领域，由于三星率先导入EUV制程以及DRAM产业竞争，外传可能促使美光考虑提早导入EUV制程时间，地点极可能为台中A3厂。

2010年ASML提供首台EUV微影设备原型机给台积电进行研发工作，2017年再交付第一台量产型EUV微影系统TWINSCAN NXE:3400给台积电，写下商用EUV制程技术的新里程，英特尔(Intel)、三星也同时鸣枪起跑。

3年后，7纳米以下先进制程大战胜负暂定，由台积电率先发布7纳米量产消息，2019年第2季N7+更领先量产，率先跨入EUV世代，5纳米更已如期在2020年第2季登场，除遭美方禁制令箝制的华为全面采用并扩大拉货力道外，苹果亦是主要大客户。

而值得注意的是，尽管台积电9月中后痛失华为大客户，7/5纳米产能缺口大开，但立即有超微(AMD)、苹果(Apple)、NVIDIA、联发科、高通、赛灵思(Xilinx)与中国AI芯片业者迅速补上。为因应不断扩增订单，台积电7/5纳米等近期也全面扩产，同时由于订单掌握度相当高，亦已提前拉升2022年下半量产的3纳米月产能规划。

据半导体供应链透露，台积电目前累计EUV设备采购规模已逾30台，光是5/3纳米据点的南科目前就达20台，比三星、英特尔现有EUV机台还要多。

由于台积电制程推进相当顺利、且与苹果、超微、高通、联发科、NVIDIA、赛灵思达成代工协议，订单能见度相当高，因此近期持续大手笔投入5/3/2纳米设备投资，预估要价1亿欧元的EUV机台，至2021年底累计采购总量至少超过50台，估计可达55台上下。

对比之下，三星不包含存储器部门与前期原型机台，EUV设备累计采购量目前不到20台，据半导体业者估算，三星2021年仍不到25台。

值得注意的是，攸关客户数量的EUV POD采购量远低于预期，估计仅达台积电四分之一，甚至只有五分之一，由设备、零组件采购端来看，显见台积电、三星制程与接单实力差距持续扩大中。

值得一提的是，英特尔先前坦言10纳米制程延迟、7纳米良率低于预期，已拟定委外代工等相关应变计画的投资，当时外界盛传台积电、三星将承接英特尔大单，未来英特尔恐将CPU、GPU全面委外代工。

然据半导体业者表示，英特尔委外代工计画主要是将产能最适化，不会放弃生产业务，近期出乎预期大动作采购EUV等相关前段制程设备，同时亦扩大EUV POD采购量，光9月订单就超过前8月累计订单，显见英特尔正加快脚步实现7纳米如期在2022年下半或2023年初量产的目标，不过预估EUV设备至2021年底采购量仍不到20台。

另在DRAM厂方面，由于EUV世代投资成本高昂，因此目前仅有三星、SK海力士(SK Hynix)与美光(Micron)3厂有实力跨入。三星动作最快，现在同时也传出海力士内部组成EUV任务小组，全力推动EUV制程DRAM早日量产，且SK集团(SK Group)也发挥材料方面专长与优势，积极投资EUV领域的相关材料开发。

近期盛传在中美贸易战推力下，美光也急起直追，已在日本与台湾厂导入1z纳米，且投入1α、1β纳米的研发，且EUV设备已送样，最重要的是已选定台中为EUV制程技术生产据点。

对于业界传闻，美光表示不予评论，不过美光先前于2020财年第1季度财报公布时指出，目前台中A3厂扩充的无尘室是能够采用EUV设备，而公司也会持续进行评估中。

只是相较于2年前美光曾表示在1α及1β制程之前不会采用EUV设备，2020年则松口表示将重新进行评估，此举引发市场推测，三星率先导入EUV制程以及DRAM产业竞争，将可能促使美光考虑提早导入EUV制程时间。

台湾目前已成为美光最大的全球DRAM制造重镇，尽管日本广岛厂生产1z纳米的低功率存储器产品，但台中厂则负责量产高速运算的16 Gb DDR4存储器，应用于桌上型计算机、NB以及资料中心等领域。

而台中A3厂将扩大增加无尘室设备空间，其目的就是为了配合后续的先进技术升级与设备，随着无尘室扩建于下半年完工，业界认为，EUV设备将可望进入进厂评估阶段。